产品
PRODUCTS
产品介绍
碳化硅炉管
三责新材碳化硅炉管，采用喷雾造粒碳化硅粉体，经3D打印工艺成型和反应烧结而成。再经喷砂处理后，按照图纸要求进行精加工，表面进行CVD碳化硅涂层，以满足使用要求。
性能优势
- 超高纯度，基材杂质含量＜300PPM，CVD碳化硅涂层后表面杂质含量小于5PPM；
- 最高使用温度可达1300℃；
- 低热膨胀；
- 极强的耐磨性；
规格型号
可根据客户图纸制作
典型应用
通常用于半导体氧化扩散炉，LPCVD和退火炉等设备。
关键词：
产品留言
