材料
材料
MATERIALS

CORESIC® RBS H


CORESIC® RBS H 注浆高纯反应烧结碳化硅陶瓷

 

材料特点

选用不同粒径的高纯碳化硅粉体、高纯碳源混合,通过注浆成型制备出高纯坯体,并选用5N高纯多晶硅在真空下进行高温渗硅反应烧结,烧结温度1600℃~1700℃以上,高纯硅蒸汽通过毛细管作用渗入含气孔的坯体,与坯体中C之间发生化学反应,原位生成的β-SiC与坯体中原有SiC颗粒结合,形成反应烧结碳化硅陶瓷材料。

 

 

性能特点

  • 高强度
  • CORESIC® RB H碳化硅陶瓷具有卓越的抗弯强度,是石英的3倍,承载力更高。
  • 耐高温
  • CORESIC® RB H碳化硅陶瓷最高使用温度1350℃,即便在此温度下也可长期使用,可防止部件和组件热变形和软化。相比石英部件的1070℃最高使用温度更高。
  • 抗氧化性
  • 优异的抗氧化性使得CORESIC® RB H碳化硅陶瓷制作的悬臂桨悬臂梁悬臂杆舟托晶舟等部件不会产生颗粒,从而有助于电池片产品质量和设备部件寿命。
  • 化学稳定性
  • CORESIC® RB H SiC 在蚀刻清洗过程中的极高化学稳定性,可防止 HF或HF+HNO3的侵蚀。与石英相比,蚀刻率小于1/1000。酸洗后碳化硅陶瓷部件表面无变化,不会给系统带来颗粒杂质,也可大大延长碳化硅部件寿命。从硅片的自动传输系统的角度来看,硅片槽在清洁过程中保持其精度不变。
  • CORESIC® RB H SiC与氮化硅、多晶硅的热膨胀系数相近。

 

功能和应用

CORESIC® RB H专为光伏电池片热工和镀膜设备开发的高强度碳化硅材料,采用注浆成型工艺,适合开发制造各种复杂结构产品,如悬臂桨舟托晶舟炉管。高碳化硅含量(>85%), 强度高、耐强酸强碱腐蚀、抗氧化性好。

 

 

材料性能表