CORESIC® RBS H
CORESIC® RBS H 注浆高纯反应烧结碳化硅陶瓷
材料特点
选用不同粒径的高纯碳化硅粉体、高纯碳源混合,通过注浆成型制备出高纯坯体,并选用5N高纯多晶硅在真空下进行高温渗硅反应烧结,烧结温度1600℃~1700℃以上,高纯硅蒸汽通过毛细管作用渗入含气孔的坯体,与坯体中C之间发生化学反应,原位生成的β-SiC与坯体中原有SiC颗粒结合,形成反应烧结碳化硅陶瓷材料。
性能特点
- 高强度
- CORESIC® RB H碳化硅陶瓷具有卓越的抗弯强度,是石英的3倍,承载力更高。
- 耐高温
- CORESIC® RB H碳化硅陶瓷最高使用温度1350℃,即便在此温度下也可长期使用,可防止部件和组件热变形和软化。相比石英部件的1070℃最高使用温度更高。
- 抗氧化性
- 优异的抗氧化性使得CORESIC® RB H碳化硅陶瓷制作的悬臂桨、悬臂梁、悬臂杆、舟托、晶舟等部件不会产生颗粒,从而有助于电池片产品质量和设备部件寿命。
- 化学稳定性
- CORESIC® RB H SiC 在蚀刻清洗过程中的极高化学稳定性,可防止 HF或HF+HNO3的侵蚀。与石英相比,蚀刻率小于1/1000。酸洗后碳化硅陶瓷部件表面无变化,不会给系统带来颗粒杂质,也可大大延长碳化硅部件寿命。从硅片的自动传输系统的角度来看,硅片槽在清洁过程中保持其精度不变。
- CORESIC® RB H SiC与氮化硅、多晶硅的热膨胀系数相近。
功能和应用
CORESIC® RB H专为光伏电池片热工和镀膜设备开发的高强度碳化硅材料,采用注浆成型工艺,适合开发制造各种复杂结构产品,如悬臂桨、舟托、晶舟、炉管。高碳化硅含量(>85%), 强度高、耐强酸强碱腐蚀、抗氧化性好。