应用说明


CORESIC® 碳化硅陶瓷材料的优良力学性能,如高强度、高硬度、高弹性模量等,特别适合用于光电照明外延片制造中的ICP刻蚀工艺, PVD工艺,RTP工艺,CMP工艺用载盘等精密陶瓷结构件。

应用场景


LED外延片

LED